基于压电陶瓷离面驱动的隧道磁阻效应微陀螺装置及方法
授权
摘要

本发明属于微陀螺技术领域,具体涉及一种基于压电陶瓷离面驱动的隧道磁阻效应微陀螺装置及方法,底层结构包括支撑基板和隧道磁阻元件,支撑基板的中心处设有方形凹槽,方形凹槽的中心固定有隧道磁阻元件,中层结构包括压电陶瓷,压电陶瓷采用中空结构,压电陶瓷固定在支撑基板上,上层结构包括陀螺结构外框、回折型正交梁、质量块、磁膜阵列,陀螺结构外框的内侧面连接有回折型正交梁,质量块通过回折型正交梁连接在陀螺结构外框的中心,磁膜阵列键合在质量块上,磁膜阵列设置在隧道磁阻元件的正上方。本发明通过压电陶瓷驱动器产生驱动谐振,具有结构简单,加工方便,幅度稳定性好、精度高等优点。本发明用于角速度的检测。

基本信息
专利标题 :
基于压电陶瓷离面驱动的隧道磁阻效应微陀螺装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110879059A
申请号 :
CN201911391375.4
公开(公告)日 :
2020-03-13
申请日 :
2019-12-30
授权号 :
CN110879059B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
张瑞李孟委郭春宏金丽
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 :
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
申绍中
优先权 :
CN201911391375.4
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656  G01C19/5663  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2022-05-27 :
授权
2020-04-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5656
申请日 : 20191230
2020-03-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332