基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计
授权
摘要
基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。
基本信息
专利标题 ：
基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021134339.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN212159843U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
张瑞王旭虎
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN202021134339.8
主分类号 ：
G01P15/14
IPC分类号 ：
G01P15/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/14
通过利用陀螺仪
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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