一种高温清洗防漂片夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种高温清洗防漂片夹具，包括夹具本体，夹具本体包括提手，提手由左纵杆、右纵杆和上横杆组成，且左纵杆、右纵杆和上横杆一体成型形成U形结构，左纵杆下端部设置第一内卡块，右纵杆下端部设置第二内卡块，且第一内卡块、第二内卡块与片架两侧的卡槽相匹配，左纵杆和右纵杆外壁上均开有卡接槽，两个卡接槽之间卡接挡杆，本实用新型结构设计新颖，制作方便，有效的阻止晶圆在清洗过程中从承载工装——花篮内向上浮出，百分之百避免因工艺条件导致的硅片上浮产生不良的现象，提高产品良率，做到0漂浮不良产生。
基本信息
专利标题 ：
一种高温清洗防漂片夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922254781.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211247691U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
崔文荣
申请人 ：
江苏晟驰微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海安经济技术开发区康华路55号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
张彩珍
优先权 ：
CN201922254781.8
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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