提供一种用于高纯度低氧钛粉及低氧钛合金粉的制备装置，在加热炉左端外部设有抽真空管道，贯穿设于加热炉内的炉管左端与后炉门密封固连，加热炉右端外部设有振动机构且振动机构与炉管右端密封连接，振动机构中的振动杆端部伸入炉管内由后炉门定位支撑，振动杆与振动料筒贯穿式偏心固连，所述振动机构与出料机构连接且振动料筒内的物料由振动机构振动粉碎后经出料机构导出储存于与出料机构连通的收粉罐内储存。本实用新型集连续加热氢化、破碎、脱氢为一体，解决了氢化、破碎、脱氢工序单独操作而形成的金属粉末物产的问题，简化了氢化脱氢类金属粉末的制备过程，降低了生产成本，提高了金属粉末的质量和纯度，金属粉末粒度细且分布集中。