本发明涉及超高纯度纳微级金属铍粉的制备方法。包括：工业级氧化铍加热溶解于高浓氢氧化钠溶液中，溶解液加入纯水中，生成高纯度氢氧化铍，经热过滤得到高纯氢氧化铍，水解液通过蒸发浓缩回收高浓碱液，循环用于工业氧化铍的溶解过程；高纯氢氧化铍与过量高纯氢氧化钠溶液加热发生反应，反应液通过滤芯热过滤得到高纯铍酸钠溶液；铍酸钠溶液在高压反应釜中，通入高纯高压氢气发生中温水热还原反应，生成纳微级金属铍粉；高压氢还原浆料快速导入在线过滤器，在高压氢气氛中实现固液快速分离，获得纳微级金属铍粉，还原液为高纯氢氧化钠溶液，循环用于高纯铍酸钠溶液的制备；铍粉经多级纯水洗涤、分离并动态干燥后获得超高纯度纳微级金属铍粉。