本实用新型公开了碳化硅素坯干燥装置，用于对放置在干燥室内的碳化硅素坯进行干燥，包括热泵单元、循环风道单元和风机单元，热泵单元设置在干燥室外部上方，循环风道单元和风机单元互相垂直设置在干燥室内；热泵单元用于将干燥室内流经碳化硅素坯的湿热空气转化为液体，进而放出热量再次对进入干燥室的空气进行加热；循环风道单元用于将干燥室内的气体进行分流；风机单元用于带动气流对碳化硅素坯进行干燥。气流依次经风机单元、循环风道单元、热泵单元回到风机单元形成循环热风，对碳化硅素坯进行干燥。本实用新型的结构简单，节约能源，实现快速低能耗高品质的干燥，得到尺寸精确，形状、圆度可控；素坯密度较高；整体均匀性较高的产品。