本发明提供了一种含有缺陷的碳化硅素坯及其制备方法、无损检测方法，该碳化硅素坯的制备方法包括以下步骤：在制备碳化硅生坯过程中加入固态有机物，并进行成型；对成型后的碳化硅坯体进行加热处理以使固态有机物分解，即得到含有缺陷的碳化硅素坯。本发明在制备碳化硅生坯过程中加入固态有机物，并利用高温加热处理，使固态有机物分解成气体从而将其除去，这样之后在碳化硅坯体中固态有机物的位置便会残留一定的缺陷，该缺陷的形状大小以及数量均可控，同时添加的有机物会在高温处理过程中除掉，并且不会引入新的杂质；通过该方法可以在碳化硅素坯内部留下缺陷，操作简便，可操作性强，有利于后期无损检测工作的进行。