用于制备碳化硅粉末和单晶碳化硅的方法
公开
摘要

本发明涉及用于制备碳化硅粉末和单晶碳化硅的方法,并且更具体地,涉及包括以下步骤的用于制备碳化硅粉末的方法:将前体气体提供到在反应器中的纤维碳体上以将碳化硅(SiC)沉积在纤维碳体上;将沉积在纤维碳体上的碳化硅回收以得到第一碳化硅粉末;以及使第一碳化硅粉末氧化,其中前体气体的分子包含硅原子和碳原子。

基本信息
专利标题 :
用于制备碳化硅粉末和单晶碳化硅的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114585777A
申请号 :
CN202080074364.8
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2020-10-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
梁仁锡权容禛金一坤
申请人 :
哈纳材料公司
申请人地址 :
韩国忠清南道
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
程纾孟
优先权 :
CN202080074364.8
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B23/00  C01B32/963  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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