一种用于石英晶体腐蚀及清洗的设备
授权
摘要
本实用新型旨在提供一种工作效率高、成本较低且兼具腐蚀及清洗功能的用于石英晶体腐蚀及清洗的设备。本实用新型包括回转模组，沿着所述回转模组的输送方向的一侧依次设置有至少一个腐蚀池和若干个清洗池，所述回转模组上设置有若干个与所述腐蚀池和所述清洗池相配合的摇摆浸泡机构，所述摇摆浸泡机构包括升降装置，所述升降装置的动作端上设置有摇摆机构，所述摇摆机构的活动端上设置有连接叉杆，所述连接叉杆位于所述腐蚀池或所述清洗池的上方，所述连接叉杆上设置有载物框，所述载物框与所述腐蚀池或所述清洗池相配合。本实用新型应用于生产设备的技术领域。
基本信息
专利标题 ：
一种用于石英晶体腐蚀及清洗的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922293635.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211620666U
授权日 ：
2020-10-02
发明人 ：
刘兴波
申请人 ：
珠海东锦石英科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市珠海大道东段南屏科技工业园绿园路3号
代理机构 ：
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 ：
王贤义
优先权 ：
CN201922293635.6
主分类号 ：
C30B33/10
IPC分类号 ：
C30B33/10 C30B29/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/08
侵蚀
C30B33/10
在溶液或熔体内
法律状态
2020-10-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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