坩埚传动装置

授权

摘要

本实用新型提供一种坩埚传动装置，包括坩埚、传动轴、支座和第一轴承，所述传动轴能绕自身轴线转动，所述传动轴带动所述坩埚绕自身的中心线旋转；所述支座上设有第一安装孔，所述传动轴与所述第一安装孔同轴设置；所述第一轴承的外周面与所述第一安装孔的内周面相配合，所述第一轴承的内周面与所述传动轴的外周面相配合。上述坩埚传动装置，通过支座支撑传动轴，在传动轴较长时，为传动轴提供了一个支撑，使传动轴转动过程中能保持稳定，从而使整个传动装置的传动保持稳定，避免了传动不稳定和传动部件的磨损，保证坩埚的旋转的稳定性。

基本信息

专利标题：

坩埚传动装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922306599.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-19

授权号：

CN211175233U

授权日：

2020-08-04

发明人：

金伟军张伟赵鹏飞

申请人：

上海先进半导体制造有限公司

申请人地址：

上海市徐汇区虹漕路385号

代理机构：

上海弼兴律师事务所

代理人：

薛琦

优先权：

CN201922306599.2

主分类号：

F16H1/20

IPC分类号：

F16H1/20 B01L3/04