坩埚传动装置
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种将动力传递到真空镀膜室中的坩埚上的坩埚传动装置,包括电机,与电机连接的减速器,第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘(8)和连接件与坩埚水冷板连接,主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道,位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口,位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。本实用新型中动密封、磁流体密封可互换,质量稳定,以满足真空镀膜生产需求,拆卸、维修、使用方便。

基本信息
专利标题 :
坩埚传动装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720080859.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-08-31
授权号 :
CN201102981Y
授权日 :
2008-08-20
发明人 :
张博谢亮刘伟锋付成洪薛尚清
申请人 :
成都南光机器有限公司
申请人地址 :
610100四川省成都市经济技术开发区星光西路115号成都南光机器有限公司
代理机构 :
成都立信专利事务所有限公司
代理人 :
江晓萍
优先权 :
CN200720080859.3
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  C23C16/448  F16J15/16  F16J15/43  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2017-10-24 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/24
申请日 : 20070831
授权公告日 : 20080820
终止日期 : 20160831
2008-08-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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