蒸镀坩埚
授权
摘要
本实用新型公开一种蒸镀坩埚，包括锅体、盖板、加热件和导热件，盖板设置于锅体的顶面，加热件设置于锅体的侧面，导热件包括呈夹角连接的第一导热板和第二导热板，第一导热板与盖板连接，第二导热板与加热件连接。由于盖板和加热件分别设置在锅体的不同面上，本实用新型的导热件包括呈夹角连接的第一导热板和第二导热板，使得第一导热板与盖板连接的同时，第二导热板能与加热件连接，从而使加热件的热量能够传导至盖板上，提高盖板的温度，有效避免盖板上发生有机物的堆积，无需再耗费人力物力对盖板进行清洁。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123154401.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
CN216514087U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
潘昌佑
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
沈鑫洪
优先权 ：
CN202123154401.7
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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