一种抛光设备抛光液的温度自动调节装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种抛光设备抛光液的温度自动调节装置，包括抛光槽、加热棒、冷却散热循环机构、和温度传感器组件；所述加热棒固定在抛光槽内部；所述冷却散热循环机构的进液口与抛光槽的出液口连通，所述冷却散热循环机构的出液口与抛光槽的进液口连通；所述温度传感器组件包括多个温度传感器，多个所述温度传感器呈相邻温度传感器之间的高度差相等的方式固定抛光槽内壁上。本实用新型的优点：可实现抛光液温度场的多点检测和抛光液温度的自动调节。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光设备抛光液的温度自动调节装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922345531.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211015177U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
刘保瑞赵福臣孙渤王丕毕晨夏科睿
申请人 ：
哈工大机器人（合肥）国际创新研究院
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦6012室
代理机构 ：
合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
叶濛濛
优先权 ：
CN201922345531.5
主分类号 ：
G05D23/24
IPC分类号 ：
G05D23/24 C25F3/16 C25F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
G05D23/19
以使用电装置为特征的
G05D23/20
具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件
G05D23/24
传感元件具有随温度变化的电阻，例如热敏电阻
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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