吸附装置及检测设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种吸附装置及检测设备，所述吸附装置包括基板和设于所述基板用于吸附待吸附物的吸附板；所述基板的承载面包括中心区域和边缘区域，所述基板设于所述边缘区域，所述吸附板具有通气道，所述中心区域形成非吸附区域。该吸附装置可以减少对待吸附物造成的形变，特别是待吸附物中心区域的形变，进而保证检测结果的准确性和一致性。
基本信息
专利标题 ：
吸附装置及检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922349424.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211507572U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
张龙黄有为陈鲁
申请人 ：
深圳中科飞测科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李洋
优先权 ：
CN201922349424.X
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2021-02-26 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/66
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳中科飞测科技有限公司
变更后 : 深圳中科飞测科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更后 : 518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳中科飞测科技有限公司
变更后 : 深圳中科飞测科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更后 : 518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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