X光光栅

授权

摘要

本申请提供一种X光光栅，包括第一X光光栅组件和与之上下扣合的第二X光光栅组件，该第一X光光栅组件包括多个依次交替排列的第一透光基底切片和第一沉积结构切片，该第二X光光栅组件包括多个依次交替排列的第二透光基底切片和第二沉积结构切片；在该第一沉积结构切片与该第二沉积结构切片的相接处，该第一沉积结构切片的透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的不透光薄膜切片相接，和/或该第一沉积结构切片的不透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的透光薄膜切片相接。通过控制该透光薄膜与不透光薄膜的厚度，以及该透光基底与该沉积结构的厚度，可以形成大尺寸、高精度的X光光栅。

基本信息

专利标题：

X光光栅

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922416141.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-27

授权号：

CN211375113U

授权日：

2020-08-28

发明人：

段晓东张少邦

申请人：

段晓东;张少邦

申请人地址：

上海市浦东新区川桥路435号由度工坊2号楼

代理机构：

上海波拓知识产权代理有限公司

代理人：

齐云娜

优先权：

CN201922416141.2

主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G02B5/18