一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，包括干泵以及与干泵连通的尾气管；所述尾气管上安装有与管内连通的氮气吹扫装置，且在尾气管的管壁上包裹有保温棉；所述尾气管的自由端安装有可拆卸的清理管；所述清理管与洗涤塔相连通。本实用新型的优点：1.把粉尘迅速通过热氮气吹扫至清理管，通过冷凝管路将粉尘集中凝结，并定期处理清理管内凝结固体，保证后端管路通畅。2.尾气管不需管路外壁缠绕加热带进行管路加热，只需要保温棉保温。
基本信息
专利标题 ：
一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922422231.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211677008U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
王明明丁建峰于玉斋魏明德
申请人 ：
徐州同鑫光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路98号
代理机构 ：
徐州市三联专利事务所
代理人 ：
卓小彬
优先权 ：
CN201922422231.2
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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