一种可调节底座高度的推片器装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调节底座高度的推片器装置，推片器，其内部设有调解室；调节高度装置，安装在调解室内，用于对晶舟的高度调节；固定放置底座，安装在推片器平台上，用于放置晶舟。本实用新型有益技术效果：产品工序进行转换时，更换专用晶舟进行作业，每道工序所使用的晶舟之间存在差异，通过调节高度装置调整放置晶舟底座的高度，实现正常推片动作，减少对晶片造成划伤和表面脏污情况。
基本信息
专利标题 ：
一种可调节底座高度的推片器装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922423280.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN210805731U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
刘莲蓬丁建峰王祥于玉斋魏明德
申请人 ：
徐州同鑫光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路98号
代理机构 ：
徐州市三联专利事务所
代理人 ：
卓小彬
优先权 ：
CN201922423280.8
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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