本实用新型公开了一种IVC高效过滤器扫描法原位检漏装置，包括外壳，外壳内设有进风机和过滤器，过滤器的上方设有进风机，过滤器的上端通过导风罩连接进风机，导风罩内设有环形管发尘口，环形管发尘口的一端通过直管延伸出导风罩外连接溶胶发生器的出尘口；过滤器的上方设有上游采样模块，上游采样模块连接尘埃粒子计数器；过滤器的下方设有下游采样模块，下游采样模块连接尘埃粒子计数器；下游采样模块通过移动装置设置在过滤器的下方。本实用新型使用扫描法来扫描高效过滤器的具体泄漏位置，通过对IVC设备进行扫描法原位检漏装置改造后，可以将检测精度大大提高，准确检测到高效过滤器漏点。检测方法为自动化控制探头，大大提高了检测稳定性和可靠性。