扫描电镜原位物化反应样品台
授权
摘要

本实用新型属于样品检测领域,具体涉及一种扫描电镜原位物化反应样品台,包括样品台本体以及设置在所述的样品台本体内的用于放置样品的导热隔层;所述的导热隔层将所述的样品台本体分割成气体腔室以及控温腔室;所述的气体腔室内设置有气体入口以及气体出口;所述的控温腔室内设置有加热管路以及冷却管路;所述的加热管路的两端分别与热媒入口以及热媒出口连接;所述的冷却管路的两端分别与冷媒入口以及冷媒出口连接。本申请的扫描电镜原位物化反应样品台通过转换样品室的气体种类、调节冷热媒的温度,能够实现一个样品台中样品不同温度不同化学氛下微观结构形貌的观察及成分分析。

基本信息
专利标题 :
扫描电镜原位物化反应样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922318490.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-20
授权号 :
CN211376583U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
孙道宝胡晓宇高旭王晶晶
申请人 :
天津膜天膜科技股份有限公司
申请人地址 :
天津市滨海新区开发区第十一大街60号
代理机构 :
天津市三利专利商标代理有限公司
代理人 :
杨欢
优先权 :
CN201922318490.0
主分类号 :
H01J37/28
IPC分类号 :
H01J37/28  H01J37/20  H01J37/26  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜;电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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