扫描电镜样品台系统

授权

摘要

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台系统，包括：真空室；样品台，设置在真空室内；横向移动机构，设置在真空室内，包括横向支架、连接横向支架的横向超声波电机、连接横向超声波电机的横向丝杆、设置在横向丝杆上的移动板，移动板滑设在横向支架上，样品台设置在移动板上；纵向移动机构，设置在真空室内，包括纵向支架、连接纵向支架的纵向超声波电机、以及连接纵向超声波电机的纵向丝杆，横向支架设置在纵向丝杆上，且横向支架滑设在纵向丝杆上。上述扫描电镜样品台系统，由于横向超声波电机及纵向超声波电机不额外产生附加磁场，从而不会干扰样品台上方的物镜处的透镜磁场，有效保证样品台上的样品成像质量。

基本信息

专利标题：

扫描电镜样品台系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922143843.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-04

授权号：

CN210668269U

授权日：

2020-06-02

发明人：

李传林陆广烈李自立姚莉

申请人：

苏州优波光电科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区中银惠龙大厦1幢3201室

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

张培柳

优先权：

CN201922143843.8

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20