样品台及扫描电镜

授权

摘要

本实用新型属于扫描电镜技术领域，尤其涉及一种样品台及扫描电镜，样品台包括固定块和夹持机构，夹持机构包括活动块和推动组件，推动组件的推动端与活动块连接，推动组件推动活动块靠近或远离固定块移动，固定块与活动块之间共同围设形成用于夹持样品的夹持区。通过将样品夹持在活动块和固定块之间，防止样品在磁场环境下晃动，利于观察样品；并且，由于活动块的活动的，使得活动块和固定块之间可以放置多种不同大小的样品进行观察，那么在观察不同大小的样品时，大大提高了样品观察的效率；以及，通过将样品夹持在活动块和固定块之间，避免使用导电胶固定样品，没有气体产生，从而可以保证拍摄照片时不受气体影响，得到高质量的照片。

基本信息

专利标题：

样品台及扫描电镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021187222.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-23

授权号：

CN212392207U

授权日：

2021-01-22

发明人：

廖杰培凌平杨帮林付连宇

申请人：

深圳市金洲精工科技股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区中心城龙城北路高科技工业园区

代理机构：

深圳中一联合知识产权代理有限公司

代理人：

袁哲

优先权：

CN202021187222.6

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/26