一种扫描电镜样品台

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

摘要

本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设有安装样品座的孔，其特征在于：样品座为一组，尺寸大小不一，孔为螺孔，样品座插入孔的端部设有螺纹。用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座螺纹旋入圆台的孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可进行SEM和EDS的观测；用于做EBSD时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心设置的孔中，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行EBSD检测。该产品功能齐全，通用性强。

基本信息

专利标题：

一种扫描电镜样品台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720157306.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-16

授权号：

CN201122146Y

授权日：

2008-09-24

发明人：

郭红李正民冯柳杜守旭陈志伟

申请人：

山东理工大学

申请人地址：

255049山东省淄博市张店区张周路12号

代理机构：

淄博科信专利商标代理有限公司

代理人：

吴红

优先权：

CN200720157306.3

主分类号：

G01N13/10

IPC分类号：

G01N13/10 G01N23/00