一种扫描电镜样品台
授权
摘要
本实用新型公开了一种扫描电镜样品台,包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块,所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成,所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面,所述承载模块与底座可拆卸连接,并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本实用新型不需要夹具和转轴等较为复杂的部件,即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的,兼具平面和截面测试功能,能够减少放真空‑换样‑抽真空的等待时间,提高实验和生产检验中的测试效率,本实用新型设计简单,易加工,易操作。
基本信息
专利标题 :
一种扫描电镜样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920728299.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-20
授权号 :
CN209658130U
授权日 :
2019-11-19
发明人 :
胡匀匀徐冠超丁丁杨阳冯志强
申请人 :
天合光能股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
代理机构 :
浙江永鼎律师事务所
代理人 :
郭小丽
优先权 :
CN201920728299.0
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20 H01J37/28 G01N23/2251 G01N23/2204
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-11-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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