一种用于薄型样品的扫描电镜样品台
授权
摘要
本实用新型实施例提供一种用于薄型样品的扫描电镜样品台，涉及扫描电镜测试设备领域，包括：基座和至少一个夹持组件，夹持组件包括第一夹持体和与第一夹持体可拆卸连接的第二夹持体，第一夹持体与第二夹持体通过相互重叠夹持样品，基座用于承载夹持组件，并与夹持组件可拆卸连接，第一夹持体呈设置有镂孔的片状结构；第一夹持体的材质为具有弹性的导电材料，第二夹持体与基座的材质均为导电材料。通过使用设置有镂孔的夹持体固定样品，最大限度地提高了样品表面的导电点密度，减少了电荷蓄积。通过夹持式固定样品，避免了使用胶带对样品表面的潜在影响。通过使用弹性夹持体进行贴合式固定，降低了夹持体划伤样品表面的可能性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于薄型样品的扫描电镜样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022050397.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN213304063U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
王泽方彦彦沈雪玲王晓丹李晓兵李晓萍刘美袁敏娟严细峰王喆唐玲云凤玲崔义张杭闫坤张向军王琳
申请人 ：
国联汽车动力电池研究院有限责任公司
申请人地址 ：
北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
周琦
优先权 ：
CN202022050397.9
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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