扫描电镜的样品平台及扫描电镜
授权
摘要

本发明公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜,样品平台包括:基座;样品承载台,样品承载台用于沿周向放置多个样品;旋转驱动组件,旋转驱动组件设在基座上且具有可旋转的驱动端;电流引导组件,电流引导组件包括绝缘座、第一导电件和第二导电件,绝缘座设在驱动端上且连接样品承载台,以使样品承载台旋转,第一导电件连接样品承载台,第一导电件为围绕样品承载台的转动轴线设置的环形,第二导电件电接触第一导电件以向外输出样品的电信号。本发明通过设置旋转驱动组件驱动样品承载台旋转,样品承载台可承载多个样品,同时设置第二导电件始终接触环形的第一导电件,实现在样品承载台旋转的同时收集电信号,提高检测效率。

基本信息
专利标题 :
扫描电镜的样品平台及扫描电镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114300328A
申请号 :
CN202210238671.6
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
CN114300328B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
吴天成潘结春张俊
申请人 :
国仪量子(合肥)技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵静
优先权 :
CN202210238671.6
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20  H01J37/28  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2022-05-13 :
授权
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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