一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台
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摘要
本实用新型公开了一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，该多工位样品台包括样品台支架、盛样台、样品台电路板、芯片固定装置、芯排线接头、法兰处电路板、固定法兰和I/O接口；所述样品台支架与所述盛样台同轴设置；所述样品台电路板设置在盛样台顶部；所述芯片固定装置设在盛样台上；所述芯排线接头一端与所述样品台电路板电路连接，另一端与所述法兰处电路板电路连接；所述法兰处电路板与所述固定法兰固定连接；所述I/O接口居中设置在固定法兰上。本实用新型具有多工位同时观察样品的功能，实现原位电化学检测芯片在不同控电位环境下检测样品随控电位变化的对比，提高了检测效率。
基本信息
专利标题 ：
一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920784265.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN209729863U
授权日 ：
2019-12-03
发明人 ：
廖洪钢
申请人 ：
厦门超新芯科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市厦门火炬高新区软件园创新大厦A区801
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920784265.3
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-12-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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