本实用新型涉及一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，属于精细化工技术领域，该装置包括填料吸收塔、真空解吸水罐、真空泵以及水泵；填料吸收塔顶部设有NF₃出口和喷淋口，中下部设有原料气进口，底部设有N₂O溶液出口；真空解吸水罐的顶部设有真空口，中部设有进料口，底部设有出水口；填料吸收塔的N₂O溶液出口与真空解吸水罐的进料口连接；水泵的两端分别与真空解吸水罐的出水口、填料吸收塔的喷淋口对应连接；真空泵与真空解吸水罐的真空口连接。本发明所述的装置结构简单，操作方便且安全，能够有效地除去三氟化氮中的氧化亚氮，大大降低成本，具有很好的经济价值。