用于用频率转换照明源泵浦激光维持等离子体的系统及方法
授权
摘要
本发明揭示一种用于产生激光维持等离子体LSP的泵浦照明的系统。在实施例中，所述系统包含：照明源，其经配置以输出具有第一光谱频率的照明；及光学频率转换器。所述光学频率转换器可经配置以从所述照明源接收具有所述第一光谱频率的所述照明，且经配置以输出具有不同于所述第一光谱频率的第二光谱频率的泵浦照明。
基本信息
专利标题 ：
用于用频率转换照明源泵浦激光维持等离子体的系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112204703A
申请号 ：
CN201980036129.9
公开（公告）日 ：
2021-01-08
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN112204703B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
I·贝泽尔A·谢梅利宁M·德斯泰恩
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN201980036129.9
主分类号 ：
H01J61/95
IPC分类号 ：
H01J61/95
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J61/00
气体放电或蒸气放电灯
H01J61/95
带有改变光的波长或强度的控制极的灯，如用于产生调制光的
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-06-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 61/95
申请日 : 20190529
申请日 : 20190529
2021-01-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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