大面积加热器
实质审查的生效
摘要
本发明的实施例提供一种大面积加热器。该大面积加热器包括：加热板，包括热集中的中心区域和围绕中心区域的周围区域；以及多个单元加热器，用于加热所述中心区域的至少一部分和所述周围区域的至少一部分，其中多个单元加热器中的每一个包括：多个加热区域，产生的热量不同；多条电源线，分别独立地向多个加热区域传输电力；以及电源端子对，布置在每个单元加热器的拐角处以向多条电源线供应电力，电源端子对的数量对应于多个加热区域的数量。
基本信息
专利标题 ：
大面积加热器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270486A
申请号 ：
CN201980099329.9
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姜兑咏金东柱洪瑛成姜现奇
申请人 ：
电导魔方股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
李琳
优先权 ：
CN201980099329.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L51/56 G02F1/1333 H01L51/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20191122
申请日 : 20191122
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
