固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备
授权
摘要
本发明涉及半导体器件检测设备技术领域，尤其是涉及一种固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备。固定装置用于固定空心柱状器件，固定装置包括卡盘和放置板，卡盘的活动卡爪的数量为多个；放置板与卡盘固定连接，放置板用于放置空心柱状器件，放置板设置有多个沿卡盘的径向延伸的导向孔，导向孔的位置与活动卡爪的位置一一对应，活动卡爪能够在导向孔中往复运动，且活动卡爪能够与空心柱状器件的内表面抵接。本发明能够对空心柱状器件进行固定和测试。
基本信息
专利标题 ：
固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111156883A
申请号 ：
CN202010003342.4
公开（公告）日 ：
2020-05-15
申请日 ：
2020-01-02
授权号 ：
CN111156883B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
党景涛左宁甄万财高慧莹
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李青
优先权 ：
CN202010003342.4
主分类号 ：
G01B5/252
IPC分类号 ：
G01B5/252
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/20
用于计量轮廓或曲率
G01B5/22
球径仪
G01B5/252
用于测量偏心度，即两个平行轴之间的横向偏移
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-06-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 5/252
申请日 : 20200102
申请日 : 20200102
2020-05-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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