具有开合法拉第组件的等离子体处理系统及其开合法拉第组件
授权
摘要
本发明公开了一种具有开合法拉第组件的等离子体处理系统及其开合法拉第组件。开合法拉第组件包括法拉第层，法拉第层包括旋钮、射频接入块、升降机构、若干环扇片；各环扇片均在旋钮的带动下能够同步围绕各自扇面上所设置的第一定位件旋转，并通过第二定位件与旋钮上的导向滑槽的导向连接而限制旋转幅度在第一极限位置、第二极限位置之间；当各环扇片处于第一极限位置时法拉第层处于闭合状态；当各环扇片处于第二极限位置时法拉第层处于打开状态，此时旋钮内侧中心区域完全暴露；因此本发明通过控制法拉第层的开、合来配合刻蚀和清洗工艺，实现了耦合窗的彻底清洗，同时刻蚀工艺时开合法拉第层处于打开状态，不会对刻蚀工艺有任何影响。
基本信息
专利标题 ：
具有开合法拉第组件的等离子体处理系统及其开合法拉第组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113113280A
申请号 ：
CN202010021590.1
公开（公告）日 ：
2021-07-13
申请日 ：
2020-01-09
授权号 ：
CN113113280B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
刘海洋胡冬冬刘小波李娜程实然郭颂吴志浩许开东
申请人 ：
江苏鲁汶仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
彭英
优先权 ：
CN202010021590.1
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-07-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20200109
申请日 : 20200109
2021-07-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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