一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台
授权
摘要
本发明公开了一种基于AFM可自动调节光斑大小的方法及其激光辅助平台，主要应用于原子力显微镜的光电流的检测，其中主要包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台。所述的激光器发出的激光，经过光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器之后将会汇聚成一个焦点，焦点光斑将打在样品的表面，激发样品产生光电流反应，光斑大小可由算法自动调节，并附与手动微调位移台，实现光斑大小和位置的精准控制。
基本信息
专利标题 ：
一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111257600A
申请号 ：
CN202010145034.5
公开（公告）日 ：
2020-06-09
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN111257600B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
卓少木张嘉荣邓建南朱相优
申请人 ：
广州精点科技有限公司;广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区小谷围街大学城广东工业大学3号、5号、6号楼首层自编之B124之1号
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN202010145034.5
主分类号 ：
G01Q60/24
IPC分类号 ：
G01Q60/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 60/24
申请日 : 20200304
申请日 : 20200304
2020-06-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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