一种光束聚焦装置、激光聚焦系统及方法、材料剥离方法

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摘要

本发明公开一种光束聚焦装置、激光聚焦系统及方法、材料剥离方法，涉及光电技术领域，以减小光束的聚焦焦深，降低光束对材料的损耗。所述光束聚焦装置包括导向单元和聚焦单元。其中，导向单元用于将光束转换为环形空心光束。聚焦单元用于对环形空心光束进行聚焦。所述激光聚焦系统包括激光导向装置和上述技术方案所提供的光束聚焦装置。本发明提供的光束聚焦装置用于材料剥离。

基本信息

专利标题：

一种光束聚焦装置、激光聚焦系统及方法、材料剥离方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111468824A

申请号：

CN202010169948.5

公开（公告）日：

2020-07-31

申请日：

2020-03-12

授权号：

CN111468824B

授权日：

2022-04-05

发明人：

刘敏郑柳

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

北京市朝阳区北土城西路3号

代理机构：

北京知迪知识产权代理有限公司

代理人：

周娟

优先权：

CN202010169948.5

主分类号：

B23K26/046

IPC分类号：

B23K26/046 G02B27/09