一种激光聚焦位置自动定位方法及系统
实质审查的生效
摘要

本发明适用于检测技术领域,提供了一种激光聚焦位置自动定位方法及系统,调节激光聚焦镜与样品表面之间的相对距离,使激光聚焦点处于样品表面,记录此时激光聚焦点对应的聚焦位置信息;向样品表面投射参考点光斑,获取参考点光斑的参考位置信息;根据聚焦位置信息和参考位置信息,自动调节样品平台高度位置,将参考点光斑的参考位置移动至激光聚焦点对应的聚焦位置,检测与参考点同一横截面上的样品表面成分信息。本发明适用于在检测不同厚度样品时,LIBS系统中激光聚焦位置的快速自动定位。设备结构简单、通用性强,实现LIBS系统中激光脉冲可快速精确地自动聚焦在样品表面,提升光谱信号的稳定性以及检测精度的可靠准确性。

基本信息
专利标题 :
一种激光聚焦位置自动定位方法及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324302A
申请号 :
CN202210218649.5
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-03-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
贾军伟潘从元张亮王战
申请人 :
合肥金星智控科技股份有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市皖水路228号1幢生产楼
代理机构 :
北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张迎新
优先权 :
CN202210218649.5
主分类号 :
G01N21/71
IPC分类号 :
G01N21/71  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发,因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/71
热激发的
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/71
申请日 : 20220308
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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