激光诱导液态金属转印电路、制备方法及柔性压力传感器
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摘要
一种激光诱导液态金属转印电路、制备方法及柔性压力传感器,本发明用飞秒激光加工PDMS层表面,利用飞秒激光加工前后PDMS层表面对液态金属的黏附性的改变来选择性转印液态金属,再用PDMS膜封装后得到液态金属微通道组成的激光诱导液态金属转印电路,工艺简便灵活。制备得到的柔性压力传感器结构简单,具有极高的分辨力,可以用来检测同类压力传感器难以检测到的微小压力变化。
基本信息
专利标题 :
激光诱导液态金属转印电路、制备方法及柔性压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111256885A
申请号 :
CN202010170222.3
公开(公告)日 :
2020-06-09
申请日 :
2020-03-12
授权号 :
CN111256885B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
吴东吴昊张乐然劳召欣汪超炜
申请人 :
中国科学技术大学
申请人地址 :
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
吴梦圆
优先权 :
CN202010170222.3
主分类号 :
G01L1/18
IPC分类号 :
G01L1/18 G01L9/06 G01L19/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质,即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2022-05-17 :
授权
2020-07-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/18
申请日 : 20200312
申请日 : 20200312
2020-06-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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