一种基于布洛赫表面波单向耦合效应的位移传感装置
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摘要

本发明涉及一种基于布洛赫表面波单向耦合效应的位移传感装置,包括泄漏辐射显微系统,所述泄漏辐射显微系统沿光信号走向依次包括激光器、透镜组、偏振片、半玻片、入射物镜、位移平台、收集物镜、收集透镜以及成像相机,所述位移平台上设有位移传感芯片,所述位移传感芯片为布洛赫表面波单向耦合芯片。本发明使用的入射光场简单,无需矢量光束整形,并且布洛赫表面光场消光比随入射光场与芯片的相对位移变化剧烈,使得传感灵敏度和精度高、响应速度快。同时,本发明还提高了量程。另外,本发明使用的布洛赫表面波单向耦合芯片为全介质结构,易储存,重复利用率高,且该芯片容错率高,易于加工,降低了加工难度。

基本信息
专利标题 :
一种基于布洛赫表面波单向耦合效应的位移传感装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111442729A
申请号 :
CN202010300801.5
公开(公告)日 :
2020-07-24
申请日 :
2020-04-16
授权号 :
CN111442729B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
王茹雪武爱民
申请人 :
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 :
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
邓琪
优先权 :
CN202010300801.5
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-04-05 :
授权
2020-08-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20200416
2020-07-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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