本发明公开一种基于霍尔效应传感器和平面电机的位移装置，至少包括一个平面电机定子、一个平面电机动子和一个霍尔效应传感器阵列，平面电机定子上的磁体阵列在与X方向和Y方向大致平行的第一平面上延伸，形成一个工作区，平面电机动子上的线圈阵列配置在与第一平面平行的第二平面上，线圈阵列与磁体阵列相互作用使平面电机动子在工作区范围内产生至少两个自由度的位移，磁体阵列由第一磁体块和第二磁体块交替成行成列配置，霍尔效应传感器阵列由多个霍尔效应传感器组成，安装在平面电机动子上，磁体阵列的磁体块在X方向的尺寸不小于霍尔效应传感器阵列的列间距的两倍，磁体阵列的磁体块在Y方向的尺寸不小于霍尔效应传感器阵列的行间距的两倍。