本发明提供了一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用系统。该系统包含泵端输气密封装置、粉尘余热收集装置、过滤网、脱水除尘装置、气体过滤器、真空发生器、气体存储罐、气体分离装置、Cl2存储罐、O2/He存储罐、过滤调压装置、气体缓存罐、检测器、流量计及相应的管道。该系统不仅可以利用生产过程中的余热，还可以将粉尘（主要是高纯二氧化硅可用于玻璃制备）、尾气分离。而尾气又可以进一步分离为O2/He混合气体、Cl2，用于工艺生产。该系统是一个密封的循环系统，既可以对反应后的粉尘、尾气、余热进行综合利用，还避免了将反应产物当废物处理时造成资源浪费、废气废水处理成本高以及可能的环境污染问题。