一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置
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摘要
本发明公开了一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置，包括：双频激光器、用于形成测量光学腔及补偿光学腔的支架、分光镜、转折镜、角锥镜、用于干涉测量的接收器及处理电路、用于实现面阵扫描的转台及直线位移台、主控器。本发明检测装置结构简单、工程易实现且具有较强的扩展性，可实现透射式光学元件光程均匀性快速、高精度的测量。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111609997A
申请号 ：
CN202010374930.9
公开（公告）日 ：
2020-09-01
申请日 ：
2020-05-07
授权号 ：
CN111609997B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
李杰陈林
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202010374930.9
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-09-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20200507
申请日 : 20200507
2020-09-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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