一种压电结构及压电装置
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摘要
本发明公开了一种压电结构及压电装置，其中，包括基底、设于所述基底上方的第一导电层以及与所述第一导电层间隔的第二导电层，还包括位于所述基底上方的固定臂以及沿所述固定臂延伸的连接部，所述固定臂包括与所述第一导电层背离所述基底一侧固定连接的第一固定臂、与所述第二导电层背离所述基底一侧固定连接的第二固定臂以及连接所述第一固定臂和所述第二固定臂的悬臂，所述连接部依次沿所述第一固定臂、悬臂及第二固定臂延伸并电连接所述第二导电层和所述第一导电层。本发明通过设置悬臂，可避免依赖压电薄膜表面设置连接部。
基本信息
专利标题 ：
一种压电结构及压电装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111682097A
申请号 ：
CN202010535547.7
公开（公告）日 ：
2020-09-18
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN111682097B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
段炼张睿
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
任哲夫
优先权 ：
CN202010535547.7
主分类号 ：
H01L41/047
IPC分类号 ：
H01L41/047 B81B7/02
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-10-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/047
申请日 : 20200612
申请日 : 20200612
2020-09-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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