压电微机电结构
授权
摘要
本公开的实施例涉及压电微机电结构。一种压电微机电结构，包括：压电堆叠，具有在水平平面中的主延伸，以及在横向于水平平面的平面中的变化的截面厚度；其中，压电堆叠由以下项的堆叠布置形成：底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区；其中，由于变化的截面厚度，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且压电材料区在第二区域具有沿竖直轴线的第二厚度，第二厚度小于第一厚度。利用本公开的实施例有利地实现压电致动和压电检测两个方面的压电性能改善。
基本信息
专利标题 ：
压电微机电结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122361296.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-28
授权号 ：
CN216512849U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
D·朱斯蒂I·马蒂尼D·阿斯萨内利P·费拉里尼C·L·佩瑞里尼F·夸利亚
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
董莘
优先权 ：
CN202122361296.8
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 B81B7/02 H01L41/083 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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