压电微机电声学换能器和电子设备

授权

摘要

本公开的实施例涉及压电微机电声学换能器和电子设备。一种压电微机电声学换能器，该压电微机电声学换能器具有：半导体衬底，该半导体衬底具有框架部分和由框架部分内部限定的通腔；主动膜，该主动膜悬置在通腔上方，并且通过锚固结构在其外围部分锚固到衬底的框架部分，由主动膜的前表面承载的多个压电传感元件用以检测主动膜的机械应力；被动膜，该被动膜悬置在通腔上方，在主动膜的下方，介于通腔和主动膜的后表面之间；以及柱元件，该柱元件固定地耦合主动膜和被动膜，并且被居中地插入在两者之间。通气孔穿过整个主动膜、被动膜和柱元件，使通腔与主动膜的前表面形成流体连通。

基本信息

专利标题：

压电微机电声学换能器和电子设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020909596.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-26

授权号：

CN212519426U

授权日：

2021-02-09

发明人：

F·塞利尼S·阿多尔诺

申请人：

意法半导体股份有限公司

申请人地址：

意大利阿格拉布里安扎

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

董莘

优先权：

CN202020909596.8

主分类号：

H04R19/04

IPC分类号：

H04R19/04 H04R31/00