压电MEMS换能器和电子设备
避免重复授权放弃专利权
摘要
本公开的实施例涉及压电MEMS换能器和电子设备。一种在半导体材料的本体中形成的压电MEMS换能器，其具有中心轴线和周边区域，并且包括多个梁、膜和柱，多个梁横向于中心轴线，多个梁并且具有被耦合到本体的周边区域的第一端和面向中心轴线的第二端，膜横向于中心轴线并且被布置在多个梁下方，柱与中心轴线平行，并且与梁的第二端和膜是刚性的。MEMS换能器还包括被布置在多个梁上的多个压电感应元件。
基本信息
专利标题 ：
压电MEMS换能器和电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920540359.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN210120666U
授权日 ：
2020-02-28
发明人 ：
F·塞利尼S·阿多尔诺F·韦尔切西
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN201920540359.6
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R19/00
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法律状态
2022-02-18 ：
避免重复授权放弃专利权
避免重复授予专利权IPC(主分类) : H04R 19/04
申请日 : 20190419
授权公告日 : 20200228
放弃生效日 : 20220218
申请日 : 20190419
授权公告日 : 20200228
放弃生效日 : 20220218
2020-02-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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