本公开的实施例涉及具有改善电特性的薄膜压电微机电结构及相应的制造工艺。一种压电微机电结构，设置有压电堆叠，压电堆叠具有位于水平平面内的主延伸，和位于横向于水平平面的平面内的变化的截面。所述堆叠由底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区形成。由于变化的截面，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且在第二区域具有沿同一竖直轴线的第二厚度。第二厚度小于第一厚度。第一区域和第二区域的结构可以分别形成压电检测器和压电致动器。