衬底上薄膜的特性监测设备
专利申请的视为撤回
摘要
一种测定和显示敷在玻璃条板表面的薄膜的精选特性的设备，该设备包括一装在导轨上以便在玻璃条板带薄膜的表面上方移动的扫描头。扫描头有一光脉冲源，该光脉冲源由一钨丝灯和一遮光器产生，经滤光以模拟昼光，然后聚焦到敷有薄膜的表面上。扫描头上还有装有一积分球，球壁上开有一入口，用以收集从薄膜表面反射回来的部分光。
基本信息
专利标题 ：
衬底上薄膜的特性监测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87107260A
申请号 ：
CN87107260.2
公开（公告）日 ：
1988-08-10
申请日 ：
1987-12-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
沃尔特·迪·麦库姆理查德·迪·沙维格雷戈里·舒·李安德鲁·韦·鲁道夫
申请人 ：
利比-欧文斯-福特公司
申请人地址 ：
美国俄亥俄州
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
曹济洪
优先权 ：
CN87107260.2
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06 G01N21/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
1993-03-17 ：
专利申请的视为撤回
1990-04-04 ：
实质审查请求
1988-08-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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