衬底表面的原位监测
实质审查的生效
摘要
在一些示例中，提供了一种真空预处理模块(VPM)计量系统，其用于测量衬底上的层的薄层电阻。所述系统可以包含：涡流传感器，所述涡流传感器包括发送器传感器与接收器传感器，所述发送器传感器与所述接收器传感器限定所述发送器传感器与所述接收器传感器之间的间隙，所述间隙用于容纳待测试的衬底的边缘。传感器控制器从所述涡流传感器接收测量信号。数据处理器处理所述测量信号并且产生所述衬底上的所述层的薄层电阻值。
基本信息
专利标题 ：
衬底表面的原位监测
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556096A
申请号 ：
CN202080073082.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马尼什·兰詹安德鲁·詹姆斯·普福道格拉斯·希尔道格拉斯·科勒伯顿·威廉姆斯尚蒂纳特·古艾迪
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
樊英如
优先权 ：
CN202080073082.6
主分类号 ：
G01N27/904
IPC分类号 ：
G01N27/904 G01N27/9013 C23C16/52 C23C14/54
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/904
多于一个的传感器
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/904
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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