在衬底检查中使用的所有表面数据
授权
摘要
这里公开了一种用于捕获、校准和连接所有表面检查和计量数据的系统。还公开了这种数据的使用。
基本信息
专利标题 ：
在衬底检查中使用的所有表面数据
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101198963A
申请号 ：
CN200580047904.9
公开（公告）日 ：
2008-06-11
申请日 ：
2005-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
戴维·赖克肯尼思·德登兰德尔·谢伊
申请人 ：
鲁道夫科技公司
申请人地址 ：
美国明尼苏达州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张雪梅
优先权 ：
CN200580047904.9
主分类号 ：
G06K9/00
IPC分类号 ：
G06K9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06K
数据识别；数据表示；记录载体；记录载体的处理
G06K9/00
用于阅读或识别印刷或书写字符或者用于识别图形，例如，指纹的方法或装置
法律状态
2010-05-12 ：
授权
2008-08-06 ：
实质审查的生效
2008-06-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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