柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法，由褪火、支撑、蹭试、加热超声清洗、真空烘干五个步骤组成的清洗方法，其中，200－230℃褪火1－3小时，水温至50－80℃加热，超声波清洗衬底30－60分钟，120－140℃真空条件下烘干。本发明实现对有机柔性衬底的清洗，使之达到半导体器件制造的清洁标准而不对其造成损伤。本发明是清洗用于半导体器件制造的柔性衬底的一种有效方法。

基本信息

专利标题：

柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1819281A

申请号：

CN200510122528.7

公开（公告）日：

2006-08-16

申请日：

2005-12-22

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

张德贤冯凯齐龙茵赵飞蔡宏琨张晓李胜林

申请人：

南开大学

申请人地址：

300071天津市卫津路94号南开大学信息技术科学学院

代理机构：

天津市学苑有限责任专利代理事务所

代理人：

赵尊生

优先权：

CN200510122528.7

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18