压电材料薄膜的极化设备

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摘要

一种压电材料薄膜的极化装置，适用以对装置结构的压电材料薄膜进行极化制程。装置结构包含绝缘基材、以及压电材料薄膜设于绝缘基材的表面的第一部分上。压电材料薄膜的极化设备包含导电载盘、极化电极、以及直流电源。导电载盘包含凸状部与凹陷部。绝缘基材设于凸状部上，且凸状部对应位于压电材料薄膜的下方。凹陷部对应位于绝缘基材的表面的第二部分的下方。极化电极设于导电载盘的上方，且配置以朝装置结构的压电材料薄膜发射多个带电离子束。直流电源配置以在极化电极与导电载盘之间形成高电场环境。具凹凸表面构造的导电载盘可使带电离子束集中在待极化的压电材料薄膜上而催化极化过程，因此可确保压电材料薄膜的极化更完整。

基本信息

专利标题：

压电材料薄膜的极化设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920484101.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-11

授权号：

CN209496896U

授权日：

2019-10-15

发明人：

李志勇陈安禄

申请人：

馗鼎奈米科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台南市永康区亚太工业区中正路279巷21弄59号

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国

优先权：

CN201920484101.9

主分类号：

H01L41/22

IPC分类号：

H01L41/22 H01L41/253