一种压电薄膜高温极化方法

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摘要

本发明涉及一种压电薄膜高温极化方法，包括：制备压电薄膜、热致相变材料与支撑衬底的复合结构；然后对复合结构进行高温退火，再以热致相变材料作为底电极，在压电薄膜上施加极化电场；最后对极化后的压电薄膜进行表面处理。本发明通过引入相变材料，一方面，相变材料在退火温度下金属化，作为底电极施加极化电压，可以提高压电薄膜的极化一致性；另一方面，相变材料在器件工作温度下绝缘化，可以作为高阻隔离层提升压电器件的射频性能。

基本信息

专利标题：

一种压电薄膜高温极化方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111740005A

申请号：

CN202010553392.X

公开（公告）日：

2020-10-02

申请日：

2020-06-17

授权号：

CN111740005B

授权日：

2022-05-24

发明人：

黄凯欧欣赵晓蒙李忠旭陈阳

申请人：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请人地址：

上海市长宁区长宁路865号

代理机构：

上海泰能知识产权代理事务所

代理人：

魏峯

优先权：

CN202010553392.X

主分类号：

H01L41/257

IPC分类号：

H01L41/257 H01L41/29 H01L41/047